绝参VIP资讯获悉，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”有了新进展，昊华科技子公司黎明化工研究设计院有限责任公司生产的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目通过了现场测试与评审。国家重大专项项目组专项办公室责任专家马振宇教授表示，这标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。据悉，目前相关产品已提交客户使用，市场应用效果良好。
2015年黎明院高纯六氟化硫已实现了1000吨/年生产供货能力。2018年，电子级四氟化碳产品建成了中试装置，并规划建设1000吨/年工业化装置。高纯度四氟化碳和六氟化硫已在国内集成电路企业批量使用，实现了部分进口替代。下一步，黎明院将进一步加快科技创新及产业化发展步伐，开发极大规模集成电路行业所必须的其他电子特气，为国内极大规模集成电路行业的稳定、健康发展提供坚实的基础。
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