高纯度电子级多晶硅量产

据科技日报，纯度要求达到99.999999999%的电子级多晶硅终于量产。近日，江苏鑫华半导体材料科技有限公司的一批集成电路用高纯度硅料出口韩国，同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准，也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。

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